超精密平面磨削技术要点一

超精密平面磨削技术要点一

一、 超精密平面磨削的技术指标；

精密加工和超精密加工代表了加工精度发展的不同阶段，通常，按加工精度划分，可将机械加工分为一般加工、精密加工、超精密加工个阶段。精密加工是指加工精度为1～0.1μm、表面粗糙度为Ra0.1～0.025μm的加工技术；超精密加工是指加工精度高于0.1μm、表面粗糙度Ra小于0.025μm的加工技术，因此，超精密加工又称之为亚微米级加工。

根椐目前精密平面磨削的现状，超精密平面磨削的技术指标见下表

    超高精度级平面磨床主要技术参数与目前三个精度级的对比      单位mm

二、 超精密平面磨削的技术要求

根据超精密平面磨削的技术指标，超精密平面磨削机床的技术要求如下：机床的砂轮进给能实现微量进给，机床具有足够的静、动态刚性，机床的热变形及振动的控制有更高要求。归纳主要有以下几点内容：

（1）机床布局型式；（2）新材料运用；（3）主轴精密回转技术；（4）微量进给技术；（5）运动导轨型式；（6）高精度温度控制技术。